加熱型勻膠機由哪些裝置組成？
發布時間：2022-05-23 點擊次數：114次
加熱型勻膠機由樣品臺、滴膠裝置和空心電動機組成，其工作原理是，通過在樣品臺上產生負壓將需要旋涂的基底材料吸附在樣品臺上，光刻膠液滴注在基底材料的表面，通過準確控制電動機的旋轉速度，以此來改變離心力的大小，同時通過控制膠液的流量來達到制備薄膜所需的厚度。
加熱型勻膠機產品特點介紹：
可更換陽極氧化鋁加熱轉盤，標準尺寸Φ10，Φ25，Φ50三種規格可選；
7寸全彩觸屏操作，自帶觸屏筆，圖形化人機界面，簡單易用；
自帶排廢功能，便于廢膠的收集處理；
帶一路自動點膠端口，可升級自動點膠功能，進一步提高實驗重復性；
HDPE高分子內腔，熱幅射式蓋子，鈑金烤漆外殼，結構緊湊，美觀大方；
200W發熱部件，加熱速度快，表面熱均勻性高，PID高精度控溫系統；
采用間接式傳動方式，可靠的隔熱設計，避免加熱部件對電機性能影響；
可嵌入式設計安裝，降低高度放置在手套箱內操作。
加熱型勻膠機在旋涂過程中會出現邊緣效應，這是由于在旋涂的過程中溶劑的揮發導致表面和邊界處光刻膠的濃度和黏度都增大，從而引起邊緣位置較中心位置要厚一些，因此基片邊緣需要經過去邊處理。去邊處理包括基片正面和背面的化學去邊處理，以及基片正面的光學去邊處理。
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