勻膠機（spin coater）如何安裝和使用？（二）

引言：

旋轉涂覆技術所使用的設備是勻膠機。勻膠機有很多種稱謂，英文叫Spin Coater或者Spin Processor，又稱旋涂機、甩膠機、勻膠臺、旋轉涂膠機、旋轉涂膜機、旋轉涂層機、旋轉涂布機、旋轉薄膜機、旋轉涂覆儀、旋轉涂膜儀、勻膜機，總的來說，他們原理都是一樣的，即在高速旋轉的基片上，滴注各類膠液，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數而不同，也和旋轉速度及時間有關。那么，勻膠機應該如何安裝和使用呢？

在上篇技術文章里，筆者給大家介紹了德國SPS POLOS SPIN150i勻膠機的安裝和使用。本篇，筆者將給大家再介紹一款實驗室常見的勻膠旋涂機——美國Laurell 650 勻膠機。

與POLOS SPIN150i勻膠機不同的是，Laurell 650勻膠機在安裝使用之前需要在實驗室準備一路氣源（氣體的壓力需要可控在60~70psig）用來驅動Laurell 650勻膠機的真空閥，來達到真空吸附基片的作用。氣體可以是氮氣（N₂）,也可以是潔凈干燥的空氣，選擇您覺得經濟性好的即可。將Laurell 650勻膠機通氣的CDA氣管接到氣源上，真空管接到真空泵上就安裝好了。

Laurell 650勻膠機-使用操作步驟如下：

【1】打開勻膠機電源開關；

【2】打開氣源閥門，調節減壓閥，使氣壓緩緩上升至60~70psig之間，檢查有無漏氣點；

【3】打開真空泵電源開關；

【4】在面板上選擇相應程序，按下“RUN MODE"鍵進入程序運行模式；

【5】打開蓋子，選擇合適托盤（使樣片完全蓋住黑色O-ring），將樣片放置于托盤中央，按“VACUUM"鍵吸住樣片；

【6】將膠液滴在樣片上，蓋上頂蓋，按下“START"鍵開始旋涂；

【7】旋涂完成，按下“VACUUM"鍵卸下真空，打開頂蓋，取走樣片；

【8】關機，順序為真空泵電源開關-氣源氣閥-勻膠機電源開關；

【9】用無塵紙沾酒精或丙酮清洗托盤及旋涂腔體內壁；

【10】實驗過程中，將用過的一次性耗材裝入垃圾袋內，離開實驗室時整理臺面，帶走垃圾袋。

*Laurell 650勻膠機-使用特別注意事項：

1、嚴禁將膠液滴入勻膠機吸盤中心的真空孔內；

2、從氣源通入設備的氣體壓力不可過大，需要嚴格控制在60~70psig（即0.42~0.48MPa）之間；

旋涂工藝的優化